[9a-W323-1~12] 6.4 薄膜新材料

[9a-W323-9] ウルツ鉱型(Al,M)N (M=遷移金属元素)のNTCサーミスタ特性

〇藤田 利晃¹、田中 寛¹、長友 憲昭¹ (1.三菱マテリアル)

キーワード：NTCサーミスタ、ウルツ鉱型窒化物、薄膜温度センサ

温度センサにおける薄型化、フレキシブル化のニーズに対応すべく、低温スパッタリングにより強靭な結晶膜を得ることが可能なAlN系薄膜の研究を進め、ウルツ鉱型結晶構造をもつ(Al,M)N(M=種々の遷移金属元素)において、NTCサーミスタ特性を見出した。