[9a-W521-1~11] SP3 異種領域融合のイノベーションを探る、国際システムデバイス技術ロードマップ(2019)

[9a-W521-10] 高歩留り化技術

〇嵯峨 幸一郎¹ (1.ソニーセミコンダクタソリューションズ)

キーワード：半導体、不純物、清浄化