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[9a-W611-5] 顕微PL法とEL法によるPERC断面の発光観察
キーワード:太陽電池、PERC、発光
結晶シリコン型太陽光発電素子であるPERCは、裏面側に絶縁層を形成するセル構造であり、従来の裏面障壁構造に比べて結晶裏面側での少数キャリアの表面再結合速度を抑制する特長がある。PERC製造工程中のセルを樹脂封止後、研磨により断面を作製し、顕微鏡下でセル表面側から励起光を照射しPL像を得た。同時に表面銀電極部と裏面アルミ電極部にプローブコンタクトしEL像を観察して、表面再結合速度の相違が可視化できたので報告する