[9a-W631-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[9a-W631-4] 薄膜堆積によるサファイア基板のLIPSS周期制御

〇後藤 兼三¹、宮川 鈴衣奈¹、江龍 修¹ (1.名古屋工業大学)

キーワード：レーザー、LIPSS

フェムト秒レーザーは波長より短い周期を持つレーザー誘起周期構造(LIPSS)を形成できる。この微細な構造は機械・電子分野や医療分野でも応用が期待されているが、この構造の実用的な応用にはLIPSSの周期の自在制御が求められる。LIPSSの周期は被照射材料の誘電率により制御できる可能性が示されている。本研究では、サファイア基板表面に誘電率の異なる薄膜を堆積することで、薄膜及び基板に形成するLIPSSの周期制御を試みた。