[9a-W631-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[9a-W631-8] 【注目講演】フェムト秒レーザー微細穴あけ加工におけるビームモードの最適化

〇場本 圭一¹、谷 峻太郎¹、小林 洋平¹ (1.東大物性研)

キーワード：レーザープロセシング