[9p-M113-1~8] 6.2 カーボン系薄膜

[9p-M113-4] 窒化炭素合成（大気圧窒素プラズマ法）中のプラズマ発光スぺクトル（水素の寄与）

〇財部 健一¹、平井 正明¹ (1.岡山理科大)

キーワード：窒化炭素、プラズマ

大気圧窒素プラズマ法により窒化炭素を合成している。合成した窒化炭素に水素が意図しないのに混入している。プラズマ発光スペクトルとの相関を見始めた。