[9p-M114-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [9p-M114-9] PDの過渡応答を利用したフィルタレス分光方法

〇渡邉 信太¹、野田 俊彦²、澤田 和明²、秋山 正弘¹ (1.長野工業高等専門学校、2.豊橋技術科学大学)

キーワード：分光、フィルタレス、PD

分光器は回折格子や光学フィルタなど，光学素子が一般的に用いられている．これらの光学素子は大型で簡便に扱えない・費用が高額になる等の問題がある．そのため，小型・安価な分光イメージセンサの実現を目的としPD（pn接合フォトダイオード）の過渡応答を利用したフィルタレス分光方法を提案し，デバイスシミュレータを用いて実現可能であることを確認した．