[9p-M121-1~14] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[9p-M121-2] Franz-Keldysh効果を利用した光電流増倍測定による
GaNにおけるキャリアの衝突イオン化係数の推定

〇前田 拓也¹、成田 哲生²、上田 博之²、兼近 将一²、上杉 勉²、加地 徹³、木本 恒暢¹、堀田 昌宏^1,3,4、須田 淳^1,3,4 (1.京大院工、2.豊田中研、3.名大 未来材料・システム研究所、4.名大院工)

キーワード：窒化ガリウム(GaN)、衝突イオン化係数、アバランシェ増倍