[9p-PA1-1~28] 6.4 薄膜新材料

[9p-PA1-12] Ti, Mg 酸窒化物のエピタキシャル薄膜の成長と電気的特性

〇小倉 彩¹、末益 崇¹、柳原 英人¹、斎藤 秀和² (1.筑波大物工、2.産総研)

キーワード：酸窒化物