[9p-PA1-1~28] 6.4 Thin films and New materials

△ [9p-PA1-13] Uniaxial compression annealing and electronic property of vanadium oxide-based amorphous thin films

〇Subaru Nakanishi¹, Ken Iwasa¹, Satoru Kaneko^2,1, Yoshisato Kimura¹, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech. Materials, 2.KISTEC)

Keywords:vanadium oxide, uniaxial compression annealing, amorphous thin film

酸化バナジウムは様々な酸化状態を示す半導体であり構造や物性が変化する。また温度に対して導電性が変化することも知られている。我々は酸化バナジウム系熱電変換材料に着目し，ガラスへの結晶析出とその基礎特性について報告してきた 。一方で非晶質の酸化バナジウム系薄膜において電気伝導率を改善することで変換効率の向上が期待できる。本研究では，一軸加圧下熱処理による結晶析出抑制ならびに電気特性への影響を評価した。