[9p-PA1-1~28] 6.4 薄膜新材料

[9p-PA1-16] 光MOD法によるBi置換磁性ガーネット膜の低温作製

〇西川 雅美¹、河原 正美²、中島 智彦³、土屋 哲男³、石橋 隆幸¹ (1.長岡技大、2.高純度化学、3.産総研)

キーワード：磁気光学薄膜、磁性ガーネット、エキシマレーザ

Biを置換した希土類鉄ガーネットは、磁場分布を可視化するイメージングプレートに利用されている。今後、要求の高まる湾曲面の磁場分布を可視化するにあたり、高分子などのフレキシブル基板上に磁性ガーネット膜を成膜することが求められているが、熱処理により結晶化させる手法では、困難である。本研究では、パルスレーザで有機金属の前駆体膜を結晶化させる光MOD法を用いて、Bi置換希土類鉄ガーネット膜の低温成膜を試みた。