[9p-PA1-1~28] 6.4 薄膜新材料

[9p-PA1-21] 反応性CAPD法により成膜したAlBN硬質被膜の構造解析

〇吉田 智博¹、田中 佑樹²、村澤 功基³、工藤 昌輝⁴、鳥山 誉亮⁴、内田 聖也²、福井 康雄³、櫻井 正俊³、吉武 剛² (1.福岡県工技セ、2.九大院総理工、3.オーエスジー株式会社、4.九大超顕微セ)

キーワード：AlBN、ナノ微結晶、ナノコンポジット

新規硬質被膜材料として反応性同軸型アークプラズマ堆積法（Reactive CAPD)によりAlBN薄膜を鉄系母材の高速度鋼上に成膜した．TEMによるナノ構造解析から，AlBN薄膜は5 nm程度のナノ微結晶とアモルファス層から構成されるナノコンポジット構造を有しており，シンクロトロン光を用いたN 1sのPESスペクトルでは，ナノ構造かBに起因するとみられる2つの特徴的なピークが観察された．膜硬度とナノ構造，化学結合状態の相関について報告を行う．