[9p-PA1-1~28] 6.4 薄膜新材料

[9p-PA1-24] 複合成膜SiO₂光学薄膜の基板表面粗さの影響

〇尾島 匠¹、室谷 裕志¹、都野 義樹² (1.東海大工、2.東海大院工)

キーワード：複合成膜、SiO₂、表面粗さ