[9p-PA1-1~28] 6.4 薄膜新材料

[9p-PA1-3] 多層固相エピタキシー法によるLa₂O₂Sbエピタキシャル薄膜の合成

〇山本 裕貴¹、河底 秀幸¹、福村 知昭^1,2,3,4 (1.東北大理、2.東北大 WPI-AIMR、3.東北大 CSIS、4.東北大 CSRN)

キーワード：固相エピタキシー法、スパッタリング法、La2O2Sb