[9p-PA1-1~28] 6.4 薄膜新材料

[9p-PA1-4] ステップ状分光透過率をもつ光学フィルターの作製

〇佐藤 一輝¹、樋口 博明¹ (1.朝日分光)

キーワード：光学薄膜、透過率、スパッタ

光学フィルターは、光エレクトロニクスや光通信分野等の発展に伴い、重要性を増している。主な光学フィルターは、屈折率の異なる二種の誘電体薄膜の交互多層膜により形成され、各層の厚みを変えることで所望の光学特性を得る。光学特性を満足するには、超多層膜（数十～数百層）の構造や精密な膜厚制御が必要となってきた。今回、ステップ状の分光透過率をもつ光学フィルターを作製したので報告する。