[9p-PA2-1~29] 12.4 有機EL・トランジスタ

[9p-PA2-12] 有機薄膜トランジスタ用ポリシルセスキオキサンゲート絶縁膜の光重合開始剤検討

〇(M1)秦野 航輔¹、中原 佳夫¹、宇野 和行¹、田中 一郎¹ (1.和歌大シス工)

キーワード：有機薄膜トランジスタ、ポリシルセスキオキサン、光重合開始剤

われわれは、紫外線照射により重合したpolysilsesquioxane(PSQ)膜を有機薄膜トランジスタのゲート絶縁膜に応用することを検討している。今回は光重合開始剤の検討を行い、PSQゲート絶縁膜の重合時間を今までの30分よりも短縮することを試みた。今回用いた光重合開始剤では紫外線重合時間を5分間に短縮することができ、また、そのゲート絶縁膜を用いたペンタセントランジスタは、比較的高いキャリア移動度を示した。