[9p-PA3-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[9p-PA3-10] XRTを用いた転位解析と各転位がデバイスに与える影響

〇明石 直也¹、藤巻 菜奈子¹、鹿田 真一¹ (1.関学大理工)

キーワード：ダイヤモンド

ダイヤモンドは優れた物性から、縦型構造を用いた高耐圧・高出力パワーデバイスへの応用が期待されている。本発表では、p+HPHT基板をX線トポグラフィ(XRT)で観察後、縦型SBDを作成し転位がデバイス特性に与える影響を調査したので、報告する。