[9p-PA3-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[9p-PA3-12] 二光子吸収フォトルミネッセンスによるダイヤモンド結晶欠陥の可視化

〇大曲 新矢¹、山田 英明¹、坪内 信輝¹、梅沢 仁¹、茶谷原 昭義¹、竹内 大輔¹ (1.産総研先進パワエレ)

キーワード：ダイヤモンド、転位、フォトルミネッセンス

ダイヤモンド中の欠陥構造は，X線トポグラフィ，カソードルミネッセンス (CL)，エッチピット法で評価可能である．しかしこれらの手法は，基板の厚み方向への分解能が乏しく，3次元的な転位の伝搬挙動を評価することは難しい．最近，SiC，GaNでは二光子吸収フォトルミネッセンス (2PPL) 法による貫通転位の可視化が報告されている．ダイヤモンドは5.5 eV (225 nm) のワイドバンドギャップを有するため，バンド端励起には短波長レーザーを組み込んだ光学系構築が必要である．一方，ダイヤモンドにおいては，転位に由来したBand-A発光が2.9 eV (430 nm) 近傍に観測されることから，2PPL法で欠陥準位を励起し，転位を直接イメージングできる可能性がある．今回我々は，高い転位密度を有するモザイクウェハやヘテロ基板を例に，ダイヤモンド結晶欠陥の可視化を試みた．