[9p-PA3-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[9p-PA3-13] MBEによるダイヤモンド(111)基板上の電気伝導性AlGaN薄膜の成長

〇河野 省三¹、蔭浦 泰資²、河合 空²、Buendia Jorge J.²、矢部 太一²、川原田 洋^1,2 (1.早大ナノ・ライフ、2.早大理工)

キーワード：ダイヤモンド、AlGaN薄膜