[9p-PA3-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

△ [9p-PA3-18] 直接照射型慣性核融合用ダイヤモンドカプセルの高品質化

〇(M1)岩崎 稔広¹、加藤 弘樹¹、山田 英明²、大曲 新矢²、竹内 大輔²、茶谷原 昭義²、杢野 由明²、福山 祐司¹、藤原 宇央¹、宮西 宏併¹、弘中 陽一郎¹、重森 啓介¹ (1.阪大レーザー研、2.産総研先進パワエレ)

キーワード：直接照射型慣性核融合、ダイヤモンドカプセル、化学気相成長法

慣性核融合用のカプセル材にダイヤモンドを使用することで、インプリント擾乱が低減される可能性があり、熱フィラメントCVD法を用いて直径500 µm、表面平滑性数十 nmのダイヤモンドカプセルが作製可能と実証された。表面平滑性の向上は、カプセル性能の向上をもたらすと期待されている。そこで、合成条件を変化させ数 nmの平滑性が得られるかどうかを検証した。講演では膜質特性の合成条件への依存性について報告する。