[9p-PA3-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[9p-PA3-3] 生体分子由来の炭素質スパッタ膜の有機ガス吸着特性

〇大森 達生¹、杉本 岩雄¹、須田 順子¹、高橋 和彦² (1.東京工科大、2.同志社大)

キーワード：ガス吸着、高周波スパッタ、炭素質薄膜