[9p-PA4-1~30] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [9p-PA4-20] マイクロ波加熱を用いたNbドープTiO₂薄膜の固相結晶化

〇(B)保崎 正道¹、松久 将之¹、遊馬 博明¹、中尾 祥一郎²、長谷川 哲也²、清水 亮太^1,3、西尾 和記¹、和田 雄二¹、一杉 太郎¹ (1.Tokyo Tech、2.Univ. of Tokyo、3.JST-PRESTO)

キーワード：透明導電性酸化物、マイクロ波、固相結晶化

薄膜結晶化の手法として非晶質薄膜に対して熱処理を行う固相結晶化法がある。固相結晶化の加熱手法は様々あるが本研究ではマイクロ波加熱に着目した。マイクロ波加熱は吸収選択性による高効率で迅速な加熱が可能である。また均一な内部加熱による結晶性向上が期待できる。本研究では、非晶質NbドープTiO₂(TNO)薄膜に対して固相結晶化を試みた結果、高い可視光透過性と低い電気抵抗を示すアナターゼ型TNO薄膜の作製に成功したので報告する。