[9p-PA4-1~30] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[9p-PA4-21] 縮退した多結晶透明導電性半導体薄膜のキャリア輸送に対する粒界の影響

〇宮田 俊弘¹、南 内嗣¹ (1.金沢工大　OEDS R&Dセンター)

キーワード：透明導電膜、AZO、結晶粒界