[9p-PA4-1~30] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[9p-PA4-26] ペロブスカイト酸窒化物CaTaO₂Nのエピタキシャル成長の基板依存性

〇若杉 択人¹、廣瀬 靖¹、中尾 祥一朗¹、原山 勲²、杉澤 悠紀²、菊田 純市²、関場 大一郎²、長谷川 哲也¹ (1.東大院理、2.筑波大)

キーワード：酸窒化物、ペロブスカイト、薄膜