[9p-PA4-1~30] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[9p-PA4-8] SH型SAWパイプセンサの作製に向けた
石英ガラス管へのc軸平行配向ZnO膜の形成

〇(M2)篁 佑太¹、高柳 真司²、柳谷 隆彦³、松川 真美¹ (1.同志社大、2.名工大、3.早大)

キーワード：c軸平行配向ZnO薄膜、スパッタ成膜、円管基板