[9p-PA5-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

[9p-PA5-10] マイクロ波を用いた振幅変調静電気力顕微鏡による半導体試料の測定

〇和泉 遼¹、内藤 賀公¹、李 艶君¹、菅原 康弘¹ (1.大阪大学)

キーワード：振幅変調静電気力顕微鏡

本研究では，マイクロ波を用いた振幅変調静電気力顕微鏡の開発を行い，それを用いた半導体試料の測定を行った．発表では，マイクロ波信号を用いた振幅変調静電気力顕微鏡を用いて得られた画像について議論する．同時に，振幅変調静電気力顕微鏡で得られた画像と，走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡で得られた画像との比較も行う予定である．