[9p-PA5-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

[9p-PA5-11] ヘテロダインFM方式光誘起力顕微鏡

〇山西 絢介¹、内藤 賀公¹、李 艶君¹、菅原 康弘¹ (1.阪大院工)

キーワード：光誘起力顕微鏡、ヘテロダインFM方式、光熱膨張

光誘起力顕微鏡(PiFM)は、近年開発された走査型プローブ顕微鏡であり、回折限界を超えて試料の光学応答を観測する。最近、特に赤外領域の光において観測している光誘起力の信号が、探針及び試料の熱膨張を表してしまうという問題点が指摘された。​本研究では、開発したヘテロダインFM方式がそれらを分離して観測を実現できることを示す。