[9p-PA5-1~12] 6.6 Probe Microscopy

[9p-PA5-6] Development of techniques combining APT and STM Ⅱ

〇Takumi Umemura¹, Shu Kurokawa¹ (1.Kyoto Univ.Eng)

Keywords:Scanning Tunneling Microscopy, Atom Probe Tomography

我々は三次元アトムプローブ(APT)測定後の試料表面を走査トンネル顕微鏡(STM)で観察する手法の開発を行っている．これまでの研究ではAPT測定後の単結晶TiO₂試料を探針にTiSi₂を用いることで，原子分解能に近い分解能で観察することに成功している．探針をより先鋭かつ大きなアイランドをもつSiCに変更した場合のSTM観察結果を報告する．