[9p-PA5-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

[9p-PA5-6] APTとSTMの併用による複合測定手法の高空間分解能化 Ⅱ

〇梅村 拓実¹、黒川 修¹ (1.京大工)

キーワード：走査トンネル顕微鏡、三次元アトムプローブ

我々は三次元アトムプローブ(APT)測定後の試料表面を走査トンネル顕微鏡(STM)で観察する手法の開発を行っている．これまでの研究ではAPT測定後の単結晶TiO₂試料を探針にTiSi₂を用いることで，原子分解能に近い分解能で観察することに成功している．探針をより先鋭かつ大きなアイランドをもつSiCに変更した場合のSTM観察結果を報告する．