[9p-PA5-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

[9p-PA5-9] 静電気力顕微鏡による探針試料間バイアスの測定とキャリブレーション

〇山本 達也¹、和泉 遼¹、内藤 賀公¹、李 艶君¹、菅原 康弘¹ (1.阪大院工)

キーワード：静電気力顕微鏡、マイクロ波、原子間力顕微鏡