[9p-PB2-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[9p-PB2-5] 高繰り返しフェムト秒レーザーを用いた紫外透過性ポリマーの回折格子作製

〇尾崎 諒¹、花田 修賢¹ (1.弘前大理工)

キーワード：紫外透過性ポリマー、フェムト秒レーザー、回折格子

紫外透過性ポリマー(CYTOP)に高繰り返しフェムト秒レーザーを集光照射することにより、高品質な加工溝作製を試みた。高繰り返しフェムト秒レーザーを用いて作製した加工溝を観察すると、クラックなどは確認されない。そして、応用例として回折格子の作製を試みた。加工溝を一定の間隔で形成したCYTOP基板に、He-Neレーザーを照射し、透過したレーザー光が回折することを確認した。