[9p-PB2-1~12] 3.7 Laser processing

[9p-PB2-6] Nonthermal / Thermal Process Boundary in Ultrashort Pulse Laser Drilling of Ceramics

〇Aiko Narazaki¹, Hideyuki Takada¹, Dai Yoshitomi¹, Keji Torizuka¹, Yohei Kobayashi² (1.AIST, 2.Univ. of Tokyo)

Keywords:Ultrashort Pulse Laser Drilling, AlN ceramics, Nonthermal / Thermal Process Boundary

我々は、非熱的/熱的レーザー加工境界探索とその制御による加工高品位化を目指し、パルス幅を広範に可変できるレーザー加工装置（波長1033 nm、パルス幅 0.4～200 ps、繰り返し single～1 MHz）を開発した。今回は高熱伝導率セラミックスである窒化アルミニウム(AlN)を中心に、加工痕形状のパルス幅・ショット数依存性と非熱的/熱的加工境界について検討したので報告する。