[9p-PB2-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[9p-PB2-6] セラミックスの超短パルスレーザー加工における非熱的/熱的加工境界

〇奈良崎 愛子¹、高田 英行¹、吉富 大¹、鳥塚 健二¹、小林 洋平² (1.産総研、2.東大物性研)

キーワード：超短パルスレーザー加工、窒化アルミニウムセラミックス、非熱的/熱的加工境界

我々は、非熱的/熱的レーザー加工境界探索とその制御による加工高品位化を目指し、パルス幅を広範に可変できるレーザー加工装置（波長1033 nm、パルス幅 0.4～200 ps、繰り返し single～1 MHz）を開発した。今回は高熱伝導率セラミックスである窒化アルミニウム(AlN)を中心に、加工痕形状のパルス幅・ショット数依存性と非熱的/熱的加工境界について検討したので報告する。