4:00 PM - 6:00 PM
[9p-PB3-16] Fabrication of Color Microlens Array Based on Electrodeposition using Photoresist
Keywords:electrodeposition, microlens
これまでに、顔料を分散させたポリマー電着およびポリシランの感光特性を利用することにより、カラーマイクロレンズを作製してきた。しかしながら、この方法は、感光部のポリシランを除去しないため、レンズにポリシランと電着ポリマーが混在するという課題があった。そこで本研究では、感光部を除去できるポジ型のフォトレジストを用いた新たなカラーマイクロレンズの作製方法について検討した。