[9p-PB3-1~28] 12.1 作製・構造制御

[9p-PB3-16] フォトレジストを用いた電着カラーマイクロレンズアレイの作製

〇金岡 祐介¹、山東 悠介¹、佐藤 和郎¹、中山 健吾¹、村上 修一¹、櫻井 芳昭¹ (1.大阪技術研)

キーワード：電着、マイクロレンズ

これまでに、顔料を分散させたポリマー電着およびポリシランの感光特性を利用することにより、カラーマイクロレンズを作製してきた。しかしながら、この方法は、感光部のポリシランを除去しないため、レンズにポリシランと電着ポリマーが混在するという課題があった。そこで本研究では、感光部を除去できるポジ型のフォトレジストを用いた新たなカラーマイクロレンズの作製方法について検討した。