[9p-PB4-1~11] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[9p-PB4-11] 熱酸化Siへの金属ナノ粒子分散に伴うナノポア形成

〇(M1)立溝 優羽¹、内藤 宗幸¹ (1.甲南大理工)

キーワード：ナノポア、透過電子顕微鏡