[9p-PB6-1~15] 16.3 シリコン系太陽電池

[9p-PB6-12] Si基板中に導入されるRPDプロセスダメージ層のキャリア再結合特性

〇神岡 武文^1,2、磯貝 勇樹²、Lee Hyunju²、脇田 陸²、原 知彦²、林 豊²、中村 京太郎²、大下 祥雄²、小椋 厚志¹ (1.明治大、2.豊田工大)

キーワード：反応性プラズマ蒸着、キャリア再結合、界面