[9p-S223-1~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[9p-S223-10] モールドと基板間から生じる蛍光角度モアレの観察

〇吉田 拓真¹、落合 研斗¹、大沼 晶子¹、須藤 和恵¹、伊東 駿也¹、中村 貴宏¹、中川 勝¹ (1.東北大多元研)

キーワード：光ナノインプリントリソグラフィ、アライメント、蛍光角度モアレ

光ナノインプリントリソグラフィにおいて所望のレジストパターンを基板上の所定位置に成形するためには、モールドと基板の高精度なアライメントが重要となる。当グループは蛍光性液体を用いた「蛍光モアレアライメント」を提案し、発現する干渉縞が和のモアレであることを示した。本研究では、積のモアレを観察するためのライン&スペースパターンを設計し、和の蛍光角度モアレパターンの観察を検討した。