[9p-S223-1~12] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [9p-S223-5] 電子線照射による直接的金属ナノパターニング

〇(M2)水野 敬太¹、小南 裕子¹、小野 篤史¹ (1.静大院工)

キーワード：電子線描画、直接描画、金属ナノ構造

本研究目的は，電子線照射還元法による直接的な金属ナノパターニング技術の開発である．我々は，金属イオンを混合したポリマーに電子線を照射すると金属が析出する現象を新たに発見し，線幅110nmの銀細線のパターニングに成功した．EDS分析より，銀の特性X線エネルギー由来のピークを検出し，作製構造が銀であることを実証した．本研究により，無蒸着プロセスのワンステップ銀ナノ構造作製技術を確立した．