[9p-S422-1~13] 15.1 バルク結晶成長

[9p-S422-3] １Si融液から切り離した結晶中の点欠陥分布の観察(１)－DLTSによる各優位領域の空孔濃度－

〇阿部 孝夫¹、高橋 徹¹、白井 光雲² (1.信越半導体、2.阪大産研)

キーワード：Si融液成長、点欠陥、DLTS