[9p-S422-1~13] 15.1 バルク結晶成長

[9p-S422-4] Si融液からの切り離しによる点欠陥分布の観察(2)－冷却過程で発生する格子間原子の分布－

〇阿部 孝夫¹、高橋 徹¹、白井 光雲² (1.信越半導体、2.阪大産研)

キーワード：Si融液成長、点欠陥、格 子間原子の発生