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[9p-W321-6] 機械学習による結晶成長シミュレーション回帰モデルの構築とその応用
キーワード:結晶成長、最適化、サイバーフィジカルシステム
我々の究極の目標は、結晶成長におけるサイバー・フィジカル・システム(Cyber-Physical-System: CPS)の実現である。我々は、最近,機械学習でSiC溶液成長における熱流体シミュレーションの結果を高速に予測するモデルを構築した。このモデルを用いることで,シミュレーション結果を桁違いに高速に求めることができるようになり、それを用いて結晶成長条件の最適化を行っている。つまり結晶成長においてモデルベース開発ができる可能性が出てきたのである。