[9p-W323-1~17] 8.1 プラズマ生成・診断

[9p-W323-12] 【注目講演】Arプラズマ中の光捕捉微粒子を用いたシース近傍電界計測法の開発

〇富田 健太郎¹、大友 洋²、鎌滝 晋礼²、板垣 奈穂²、古閑 一憲²、白谷 正治² (1.九大総理工、2.九大シス情)

キーワード：プラズマ、電界、光トラッピング

シース近傍の電界強度分布はプラズマプロセス制御の重要パラメータである。非侵襲な電界計測はレーザー分光法を用いたものがよく知られている。一方でプラズマ中の微粒子は負に帯電し、シース近傍で静電力により浮遊することから、微粒子挙動を電界計測へ応用することも行われている。本発表では光捕捉した単一微粒子をプローブとした、シース近傍の新しい電界計測手法確立に向けた実験的取り組みについて報告する。