[9p-W323-1~17] 8.1 プラズマ生成・診断

[9p-W323-15] 鉄内包フラーレン気相実験時の極低パワーマイクロ波条件でのプラズマパラメータ測定と装置改良

〇大西 広司¹、濱田 滉太¹、竹田 樹人¹、大森 貴之¹、奥村 一起¹、加藤 裕史¹ (1.阪大院工)

キーワード：フラーレン、プラズマ、電子サイクロトロン共鳴