[9p-W323-1~17] 8.1 プラズマ生成・診断

[9p-W323-17] 低エネルギーXeイオンビーム照射による衛星材料の損傷評価のための引き出し電極・ビームラインの改良

〇竹田 樹人¹、大西 広司¹、濱田 滉太¹、奥村 一起¹、大森 貴之¹、加藤 裕史¹ (1.阪大院工)

キーワード：Xeイオンビーム、電子サイクロトロン共鳴