[9p-W323-1~17] 8.1 プラズマ生成・診断

[9p-W323-2] 発光分光計測よる大気圧非平衡Arプラズマの電子温度・電子密度の導出と比較

〇大西 広¹、根津 篤²、赤塚 洋³ (1.東工大工、2.東工大技術部、3.東工大研究院)

キーワード：発光分光計測(OES)、電子温度、電子密度

大気圧非平衡プラズマは近年、工業や農業、医療などの分野に応用され始めている。しかし、このプラズマの性質を決定する上で重要なパラメータである「電子温度」と「電子密度」の計測手法がいまだ確立されていない。そこで本研究では、発光分光計測(OES)によって測定した大気圧非平衡Arプラズマから、これらのパラメータを線スペクトルや連続スペクトルなどの発光スペクトルを様々な方法で解析して導出し、比較検討する。