[9p-W521-1~16] 17.2 グラフェン

[9p-W521-11] ロックイン発熱解析法によるCVDグラフェン膜の移動度低減メカニズムに関する考察

〇中島 秀朗¹、沖川 侑揮¹、森本 崇宏¹、生田 美植¹、山田 貴壽¹、岡崎 俊也¹ (1.産総研)

キーワード：グラフェン、ロックイン発熱解析、移動度

CVD法グラフェンは大面積成膜が可能である一方、様々な欠陥構造の形成によりグラフェン本来のキャリア移動度が大きく低減してしまう。我々はロックイン発熱解析に基づく新しい評価技術の開発を進めており、これまで大面積グラフェン膜の高速・高精度な構造イメージングを可能としてきた。本講演では、本手法に基づきCVDグラフェン膜の移動度低減に関する評価を行い、その低減機構について詳細に議論する。