[9p-W521-1~16] 17.2 グラフェン

△ [9p-W521-7] Polypropylene carbonate(PPC)を用いた原子層Dry release転写法による高品質グラフェン/h-BNファンデルワールスヘテロ構造の作製

〇木下 圭¹、守谷 頼¹、増渕 覚¹、渡邊 賢司²、谷口 尚²、町田 友樹^1,3 (1.東大生研、2.物材機構、3.CREST-JST)

キーワード：グラフェン、ファンデルワールスヘテロ構造、原子層転写

現在グラフェン（Gr）/h-BNの多層構造作製においてStamping法が主流であるが、エッジコンタクトが必要となるため複雑な構造の作製が難しい。そこで、原子層を下から1層毎に積層でき、複雑な構造の作製に適用できるDry release転写法において高品質なデバイスを作製する手法を模索した。今回我々が開発したPolypropylene carbonate（PPC）を用いた手法は、PPCの熱可塑性を利用することにより、単層グラフェンや数層h -BNを簡便かつ清浄に別のh -BN上に転写することが可能である。本手法を用いてグラファイトのハーフボトムゲート付きの積層構造や金属電極上へのGrの転写を含む8回の転写を要する構造も実現できた。