[9p-W541-1~8] 窒化物半導体特異構造の科学　ナノ物性評価技術の進展と物性制御

[9p-W541-3] 窒化物半導体特異構造の時間空間分解カソードルミネッセンス評価

〇秩父 重英^1,2,3、嶋 紘平¹、小島 一信¹ (1.東北大多元研、2.名大未来研、3.北大量エレ研)

キーワード：窒化ガリウム、時間空間同時分解計測

禁制帯幅が広い窒化物半導体特異構造体の局所的な発光ダイナミクスを把握することは、構成元素や不純物の不均一取り込みに因る混晶組成の不均一性や膜厚の不均一性、電荷分布の不均一性やそのデバイス特性への影響を明らかにする上で重要である。本講演では、時間空間同時分解カソードルミネッセンス (STRCL)計測装置によるⅢ族窒化物半導体特異構造体の評価例を紹介する。