[9p-W541-1~8] 窒化物半導体特異構造の科学　ナノ物性評価技術の進展と物性制御

[9p-W541-5] 深紫外近接場光学顕微鏡の開発とAlリッチAlGaN系特異構造のPLマッピング評価

〇石井 良太¹、船戸 充¹、川上 養一¹ (1.京大院工)

キーワード：深紫外、近接場光学顕微鏡、AlGaN